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知识手册

六氟化硫在各行业的用途

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1、用做电气绝缘介质

六氟化硫主要用做电气绝缘介质,六氟化硫可以使电器设备小型轻量化且运行安全可靠,同时还可以降低设备造价。用六氟化硫作为绝缘介质的电力设备主要有变压器和断路器。大功率的变压器大多使用六氟化硫做绝缘介质,一些小型六氟化硫已广泛用做各种研究和工业用仪器的辅助部件。

2、作为大气污染研究的示踪剂

为了研究污染物在大气中的传送和扩散规律,人工释放示踪剂于大气中,然后在下风方向进行追踪测定,从而验证和发展大气扩散理论,建立大气污染浓度估算模式。六氟化硫作为示踪剂的优点很多,六氟化硫在常温下的化学惰性强,光照下稳定性高,难溶于水,能随大气运动,无沉降无毒。加之其释放、采取和分析方法简单,因而成为当前较理想、应用较广的一种大气示踪剂。

3、在半导体器件生产加工工艺中的应用

氟化物气体被广泛应用于半导体加工工艺中。由高纯硅组成的晶片是半导体工业的基础。可用蚀刻后的腔体清洗沉积在化学气相沉积腔体中,为了防止晶片在下一步骤中被沉积物污染,腔体必须在一定的间隔时间内进行清洗,为了保护环境,六氟化硫可以循环使用。


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